进博会传来好消息，国产干式光刻机实现量产落地，千万片流片背后意味着什么
2026-11-09 07:27 发布于 山西 国际领域创作者
第九届进博会期间，上海微电子带来SSC800、SSB800剖视模型，引发全网对国产光刻装备的热烈讨论。需要厘清的是，现场展示仅为剖视演示模型，用来展示光路与内部机电结构，并非真机；
但对应的实体设备已经完成定型，实现规模化量产交付，不少网友容易把展示模型和量产真机混为一谈。这套标准化平台覆盖I‑line、KrF两大主流技术路线，物镜、 双工件台 、物料传输、对准传感等核心系统全部实现自主可控。
成像性能对标国际同类型 干式光刻机 产品，SSC800综合性能跻身全球行业第一梯队，关键零部件国产化率突破90%，彻底补齐国内前道干式光刻装备的短板。
相比实验室做出样机，产业界更看重产线实际表现。目前多台设备已经进驻国内头部逻辑、存储芯片工厂长期服役，累计 流片 数量突破千万片，设备运行有效率超过92%。高运行率代表设备稳定性得到验证，标志国产光刻机真正跨过从研发走向商业量产最关键的门槛。
上海微电子自2002年成立，是国内唯一能够稳定交付前道干式光刻机的企业。客观来讲，当前量产机型聚焦 成熟制程 ，和最先进 浸润式 、 EUV 设备仍存在明显差距。半导体产业没有捷径，千万片晶圆的实践经验，也将为后续技术迭代积累宝贵的技术底座与供应链基础。
不少网友留言既有振奋，也有对制程差距的疑问。科技突破不是一蹴而就，不必过度神话，也不应刻意贬低。成熟制程光刻装备的自主可控，保障国内大量功率芯片、存储芯片生产安全，也是我国半导体产业向上攀登不可或缺的一步。